最先端技術の開発分野でも半導体製品、宇宙機器をはじめ、医薬品の開発に携わる大学、民間企業の研究室で、真空ポンプは幅広く利用されています。真空ポンプには色々な種類があり、取付するものによって選定する種類がかわってきますので、用途に合った真空ポンプを選ぶことが大切です。
廃棄速度が大きなものが必要な場合は、回転翼型ドライ真空ポンプが良いです。構造上到達圧力としてはそれほど小さくなりませんが、低真空領域で大きな排気速度を得ることができるのが特長です。
油回転真空ポンプには、真空ポンプ油とかロータリーポンプ油などと呼ばれる潤滑油が必要になります。この潤滑油（オイル）を使用することにより、回転部の動きを滑らかにしたり、気密性を高くして気体の逆流を防いだりすることができます。比較的安価でコンパクトであるのが特長です。
真空ポンプ内にガスが混じってしまうと、オイルが劣化してしまいます。水蒸気を吸入してしまった場合、ポンプ内の圧縮行程で水になり、オイル内に混入してしまう場合もあります。
また、連続運転圧力によってもポンプの種類が異なります。
真空ポンプは重さと価格さえ気にしなければ、大は小を兼ねるものです。
