ターボ分子ポンプとは、分子真空ポンプの一つの種類です。 分子真空ポンプとは気体の中にある分子同士が殆ど衝突する事無く廃棄を行う事が出来る真空ポンプの事です。
その一つであるターボ分子ポンプは、1957年にドイツのベッカーによって発明されたもので、実際には動翼と静翼が配置されている物となっています。 この構造によって排気を行うというのが主な形となっています。 元々はそれ程沢山の分野に利用されていたわけではありませんが、次第に性能も良くなり、現在では研究機関や大学、電子部品工場等で利用されており、実際にその研究の環境を向上させること衣が出来ています。 したがって、一般的にはターボ分子ポンプと言うのを利用する事はほぼ無い為この存在自体を知らない人も少なくありませんが、実際にはこのポンプは製造・開発においてなくてはならない存在となっています。
また、ターボ分子ポンプには大きな魅力が一つあります。 それはクリーンな排気だという事です。 真空ポンプには色々な製品があり、実際に同じ圧力帯で排気できるものも少なくありません。 例えばこの場合であれば油拡散ポンプがそれに当たります。 しかし実際に真空にする為には排気をする必要がありますが、その時に排出する空気自体に汚れが混じってしまうという事になると、環境に配慮した製造と言う事が出来なくなってしまいます。 その点この製品であればクリーンな排気を誇っているため、環境に配慮している施設で合っても十分利用価値がある製品と言えるのです。
用途としてはそれ程一般的では無い為、どうしてもなかなか見る事がない真空ポンプとなっていますが、高性能な真空ポンプを必要とする場所では多くの所で利用されているというのが実情です。 またサイズ等も幅広く展開しているため、実際には様々な用途で利用されており、半導体製造や宇宙関係の事業、さらには医薬品の研究開発など出来るだけクリーンな環境で作業をする必要があるという所での利用が多くなっています。 日常的に利用している機械や加工食品の中には真空の技術を利用している所も決して珍しくありません。
そういった真空を利用する必要があるところで利用される代表的なポンプだと言っても良いでしょう。
